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独创的纳米冰雕的制作技术
- 2018-10-18 -

电子束光刻同集成电路一样,纳米冰雕的制作技术初始于上个世纪五十年代末。在今天,电子束光刻由于其超高分辨率和灵活性,仍是纳米加工的首选方法。但是在过去的半个多世纪里,冰雕的制作电子束光刻的基本步骤并没什么实质的改变,仍沿用初期的匀胶,曝光,然后显影等步骤。冰雕的制作变化的是仪器设备越来越先进,电子束流越来越大加上光刻胶变得更加敏感以极大减小曝光时间。



最近,仇旻教授课题组用一种另类的电子束光刻技术——冰刻,冰雕的制作即以冰作为电子束光刻胶来取代传统的聚合物胶,实现了在真空腔室中方便快捷地制备3D纳米金属结构、灰度图形以及悬空的纳米结构。冰雕的制作这项成果克服了传统电子束光刻技术制备3D结构工艺过程复杂、对准困难、引入污染等诸多难题,冰雕的制作在未来的3D纳米结构和器件应用中将极具应用潜力。冰雕的制作而且,由于冰是在零下130℃直接凝华到样品上,从而冰雕的制作省去了传统工艺中的匀胶步骤。后者需要把胶事先溶解到一个有机溶剂里冰雕的制作;


另外,冰雕的制作由于冰受热即可被气化,所以也省略了显影步骤。这使得冰雕的制作冰刻的步骤比传统电子束光刻大大简化,而且由于不需要强腐蚀性的有机溶剂,冰雕的制作它是一个很“温和”的纳米加工方法,从而冰雕的制作尤其适用于在不规则表面或易损柔性材料上进行纳米加工。


冰雕的制作这项工作开辟了一个新的研究领域,为“冰刻”纳米加工技术,以及其它类似纳米加工技术,展现了更为广泛的研究潜力。 冰雕的制作技术也在不断的创新,更多新闻资讯以及冰雕的制作相关内容请关注我们塞北冰雕官网吧。

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